材料与表面处理
编号 | 零件名 | 材质 | 表面处理 |
1 | 抓手部 | 不锈钢SCS13 | 拉丝处理 |
2 | 外壳 | 不锈钢SUS304 |
注：SCS14是与SUS316类似的不锈钢
特点 | 采用全金属制，具有电磁屏蔽性 |
符合SEMI标准（SEMI S8-O600) | |
安装到钣金上时，需要另购垫片 |
| 零件号 | 重量 |
| EV153-12050001 | 260g |
垫片（另售）
| 零件号 | 材料 | 表面处理 |
| EV153-12050002 | 钢SUM | 彩色镀锌 |
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